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差动式半导体激光位移传感器模型
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摘要
:
本文提出了一种利用半导体激光自混合干涉效应的差动式位移传感器测量系 统, 建立了系统的数学模型, 给出了小范围内位移测量较精确的表达式 ? 与其他几种自混合 型半导体位移测量方法相比, 本文的结果不仅精确度高, 且分辫率也大大提高 ?
关键词
:
半导体激光器自混合干涉差动位移测量
Abstract
:
Key words
:
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