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ZnO系薄膜对NOx气体的气敏光透射特性
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摘要
:
用射频磁控溅射方法制备了纯氧化锌??% & ? ? 薄膜和掺( ) 、掺?+ 与掺?, 的% & ? 三 种气敏光学薄膜 . 测量了这些薄膜在/ ? 二气体中的透射光语, 然后由透射光语获得了灵敏 度的变化规律, 并用吸附平衡关系式解释了气敏光透射特性, 最终优化得到一种对/ ? 二气 体灵敏度高的掺( ) 氧化锌薄膜 .
关键词
:
ZnO系气敏薄膜 NOx二气体 光透射
Abstract
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Key words
:
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