| 摘要:声表面波气体传感器的性能在很大程度上取决于涂覆在其表面的化学界面膜的性能。
因此, 制作这种气体传感器的首要的任务是筛选制作这一界面膜的原材料于是, 对制成样
膜的气敏性能要进行测试, 诸如灵敏度、选择性、响应和恢复时间、可逆性、可重复性、可靠
性、界面膜的老化和寿命等, 以便综合比较, 作出最后判定显然, 这是一项费时费事的工作
为了效益, 建立一套自动测试系统是必要的作者在已有报道〔‘一幻的基础上, 新建了一套系
统, 经实际使用, 证明性能是良好的 |
| 关键词: SAW气体传感器自动测试系统 |
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