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光纤气体传感器的研究
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摘要
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介绍了一种强度调制型光纤气体传感器它采用光通信用多模光纤, 利用工艺中 的光刻和化学腐蚀等技术, 在硅片上制出传感器的整体结构这种传感器的结构简单、测量 方便、重复性好、成本低, 有深入研究的价值
关键词
:
光纤气体传感器 强度调制 吸收
Abstract
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Key words
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