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氧化钨离子敏感膜的研究
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摘要
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采用射频磁控溅射技术制备了氧化钨离子敏感变色薄膜? 借助于电子衍射仪、 ? 射 线衍射仪和? () 能语仪对所制备薄膜的结构和成分进行了分析, 并对薄膜的各项离子敏 感变色特性进行了测试?
关键词
:
离子敏感 氧化钨薄膜 射频磁控溅射
Abstract
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Key words
:
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