| 摘要:较系统地研究了静电梳驱动微振子的结构和工作原理, 导出了微振子的谐振频率、
品质因子及跨导等参数, 以及相应的力学和电学模型, 并研究了空气粘滞效应对品质因子
的影响?
在此基础上, 设计出几种不同尺寸、不同形状的微型谐振子结构, 并用表面微机械
加工方法成功地制成了能横向振动的静电梳微振子
? 实测得到的谐振频率在(
?
? ) ??
? 。
? + , 范围内, 在空气中品质因子为?? % 左右, 与理论计算能较好符合? |
| 关键词: 微振子 静电梳 驱动 特性 |
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