中文摘要: 针对单一模式压力传感器在测量中存在的局限性，提出一种双模态陶瓷-石墨烯压力传感器。该传感器是以石墨烯薄膜为敏感元件，氧化铝陶瓷为基底构成的一种悬浮型LC谐振式压力传感器，可同时实现电容、电阻两种测量模式。通过COMSOL软件的模拟仿真，探究了传感器主要尺寸对其性能的影响，并以此为依据设计出合理的传感器结构。对传感器的仿真结果进行线性化分析，得出该传感器在0~1MPa压力范围内，电容模式的线性误差为3.52%，灵敏度为0.933GHz/MPa，电阻模式的线性误差为3.61%，灵敏度为1.87MΩ/MPa，并且在0~0.2MPa压力范围内电阻模式具有更优的线性度。