中文摘要: 揭示了一种热振子式Z轴MEMS角速度陀螺的敏感机理。在给出工作原理、热振子的振动模态和陀螺效应的基础上，对敏感结构内的温度场进行了计算。结果表明：（1）开机1.8s后在敏感结构内形成一个稳定的温度场。（2）热振子在Y方向建立驱动模态，当沿着Z轴输入角速度时，在哥氏力的作用下热振子沿着X方向移动，造成温度场偏移，X方向上对称平行设置的两热线温差ΔTX随着输入加速度az的加大呈现线性增长，温度灵敏度为125mK/°/s。（4）根据输入-输出ωz-VXout特性曲线，得到数学模型，揭示了该陀螺的敏感机理，陀螺灵敏度为0.095mV/°/s，非线性度为2.97%。本文为优化结构奠定了实用理论基础。