| 摘要:提出并实验证明了一种基于法布里-珀罗干涉仪(FPI)的相对湿度(RH)传感器。该传感器是通过将短长度的毛细石英管拼接到单模光纤，并将聚乙烯醇(PVA)薄膜涂覆到毛细石英管的切割表面来构建的。该传感头的总长度仅为170μm左右，紧凑的尺寸意味着它可以在有限的空间和恶劣的环境中灵活使用。实验结果表明，该传感器通过解调反射光谱的波长偏移，可以测量环境相对湿度(RH)，且具有较高的灵敏度。在温度较低时，传感器有一定的温度依赖性；在温度较高时，温度变化对传感器的湿度测量没有影响，可以忽略温度串扰。因此，该传感器具有尺寸紧凑、成本低、重复性和稳定性高、响应快、温度串扰小等优点，具有一定的潜在应用前景。 |
| 关键词: 光纤湿度传感器、法布里－珀罗干涉仪、聚乙烯醇、毛细石英管、相对湿度、温度 |
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