| 摘要:提出了一种基于MEMS技术，由MEMS微波功分器和在线式MEMS微波功率传感器组成的在线自检测MEMS微波功分器，实现了MEMS微波功分器在Ka波段的实时在线功率自检测。MEMS微波功分器为T型功率等分功分器，由共面波导、圆形的不对称共面带线和空气桥构成，三个端口处分别放置三个相同的在线式MEMS微波功率传感器用于端口处信号功率的实时监测。该结构基于GaAs MMIC工艺，它可以与GaAs微波电路实现单片集成，通过ADS和HFSS软件的协同仿真，在中心频率34GHz处，回波损耗S11小于-30dB?插入损耗S21(S31)约为-4.7dB。在26GHz ~40GHz的频率范围内，S11约小于-15dB，隔离度S23小于-15dB。 |
| 关键词: MEMS、自检测、微波功分器、微波功率传感器 |
|
|
|
|
| Abstract: |
| Key words: |