本文已被：浏览 1553次 下载 0次
中文摘要: 设计的一种大量程加速度传感器敏感单元采用一对双端固支结构，实现硅平面内加速度的测量，本文通过马歇特锤冲击测试试验和Hopkinson杆激光干涉冲击测试，分别标定了传感器的灵敏度和动态响应，试验结果表明：测试传感器的灵敏度为0.126uv/g，工作频带为21.46kHz，工作频带的动态重复性为3.9%，能够满足实际的测试需求，为实现单芯片集成三独立质量块结构的三轴加速度传感器提供了参考依据。
中文关键词: 加速度传感器 大量程 马歇特锤 Hopkinson杆
Abstract:A high range accelerometer with a pair of double-clamped beam-mass structure can measure in-plan acceleration.This paper uses Machete hammer and Hopkinson bar test the sensitivity and the dynamic response of the sensor.The results show that the sensitivity of the sensor is 0.126uv/g, working frequency is 21.46kHz, the dynamic repeatability of working band is 3.9%, meeting the actual requirements . To achieve triaxial accelerometerthe sensors on single-chip integration of three independent mass structure provide the reference data.
文章编号：cg13000247 中图分类号： 文献标志码：
基金项目:国防科工委国防基础科研项目基金项目
引用文本：