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中文摘要: 本文根据“所见即所得”的设计理念，提出了一种面向三维实体建模的MEMS设计方法，实现了从三维实体到系统级模型或工艺版图的设计流程，使设计者可以首先直接建立器件的三维实体模型，在完成有限元分析后，可以通过组件映射和宏模型提取的方式获得系统级模型，再通过自动版图转换得到相应的工艺版图。此设计方法可以提高设计效率，并且保证了模型数据在各个设计层级之间传递时的一致性和精确性。
中文关键词: MEMS , 三维实体建模，设计方法
Abstract:Driven by the “What You See Is What You Get” design concept, this paper presents a 3D solid modeling oriented MEMS design approach which ensures a design flow from 3D solid model to system-level model and process layout. In this design flow, the 3D solid model is firstly constructed, after FEA simulation, the system-level model can be obtained via component mapping and macro-model extraction, also obtained is the layout through automatic layout conversion. This design approach enhances the design efficiency, and the consistency and accuracy of model data can be assured.
文章编号：cg10001011 中图分类号： 文献标志码：
基金项目:国家高技术发展计划（863）
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