一种测量透明薄膜厚度的新方法

王玉田; 赵世强; 王遂; 隋红丽

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DOI:

:2003,16(1):-

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一种测量透明薄膜厚度的新方法

王玉田　　赵世强　　王遂　　隋红丽

(燕山大学电气工程学院, 河北　秦皇岛　06)

A NovelM ethod forM easur ing Tran sparen t F ilm Th ickness

W A N G Y u tian ZH,A O S h iqiang 　W A N G S u i　SU I H ong li

(D ep t. of S cience Instrum ent and E ng ineering , Y anshan U niv ersity ,Q inhuang d ao H ebei 066004 P. R. Ch ina)

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中文摘要: 介绍了一种分析获取干涉图的新方法, 可使得计算机处理简单, 我们可以利用此结论很容易地测量出薄膜的厚度。

中文关键词: 厚度测量薄膜干涉测量电荷耦合器件

Abstract:A new method fo r analyt ically ob tain ing the fo rm of an in terferogram is p ropo sed. Themethod perm it s simp le imp lemen tat ion fo r a compu terized t reatmen t. W e can u se it to determ ine easily the th ick2 ness of a th in f ilm.

keywords: th ickness measu remen t th in f ilm s in terferomet ry CCD

文章编号：cg030102 中图分类号： 文献标志码：

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王玉田赵世强王遂隋红丽燕山大学电气工程学院, 河北　秦皇岛　06

W A N G Y u tian ZH A O S h iqiang 　W A N G S u i　SU I H ong li D ep t. of S cience Instrum ent and E ng ineering , Y anshan U niv ersity ,Q inhuang d ao H ebei 066004 P. R. Ch ina

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