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平膜片式压力传感器有限元分析
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摘要
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本文用有限元方法分析平膜片式压力传感器弹性元件表面径向应变及切向应变 与薄膜应变片阻值变化的联系后,根据电桥原理得到与其输出电压之间的关系,最终并分析 了传感器之非线性精度
关键词
:
有限元
压力传感器
非线性精度
Abstract
:
Key words
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