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DOI:
:2024,37(5):737-742
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微纳电极阵等离子体微系统
(1.原总装备部;2.上海交通大学微米纳米加工技术全国重点实验室)
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中文摘要: 发现微纳尺度结构效应能调控电荷分布,在空间中激励形成极化带电场,极化带电场中原子、分子间相互作用的特异性产生了极化带效应。设计产生极化带效应的微纳电极阵结构,通过非硅微/纳加工技术集成形成微纳电极阵等离子体微系统(NPMEMS),NPMEMS可集中或分布式地调控物质状态、产生极化带等离子体,利用其特殊的理化性能可大幅提高应用系统效率,或解决多个领域中应用技术的机理性难题。
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文章编号:cg000000     中图分类号:TP212    文献标志码:
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