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2006年第19卷第5期目录
本期目录 | | | 系统级设计方法及其在力学特性集成测试中的应用 | | | 关乐1，2 褚金奎1，2 王晓东1，2 张段芹1，2 王立鼎1，2 | | | 2006,19(5) [摘要(1140)] [PDF] | | | | | 基于Krylov 子空间投影法的MEMS宏建模方法 | | | 闫子健 苑伟政 吕湘连 李俊 常洪龙 | | | 2006,19(5) [摘要(1187)] [PDF] | | | | | 一种可支持任意流程的MEMS设计工具 | | | 常洪龙，谢建兵，徐景辉，阎子健，苑伟政 | | | 2006,19(5) [摘要(1342)] [PDF] | | | | | 基于Monte Carlo模型的微型PLGA给药系统建模及仿真 | | | 王小鹏，陈天宁，杨战孝 | | | 2006,19(5) [摘要(1245)] [PDF] | | | | | 硅基压电多层膜悬臂梁的偏转模型和优化设计 | | | 方华军 刘理天 任天令 | | | 2006,19(5) [摘要(1319)] [PDF] | | | | | 一种新型三维实体到标准工艺版图的转换方法 | | | 徐景辉 苑伟政 常洪龙 谢建兵 | | | 2006,19(5) [摘要(1145)] [PDF] | | | | | 状态反馈法改善MEMS静电驱动结构瞬时特性的研究 | | | 冯仁剑，于尚民，万江文，吴银锋 | | | 2006,19(5) [摘要(1307)] [PDF] | | | | | 梳齿谐振器宏模型的系统级应用 | | | 李俊 李晓莹 吕湘连 闫子建 常洪龙 | | | 2006,19(5) [摘要(1312)] [PDF] | | | | | 基于版图和工艺的MEMS器件三维结构生成算法 | | | 邓伟 李伟华 | | | 2006,19(5) [摘要(1347)] [PDF] | | | | | 低刚度高谐振频率的新型微压电悬臂梁探针的结构设计 | | | 赵钢，褚家如 | | | 2006,19(5) [摘要(1227)] [PDF] | | | |
本期目录 | | | 生物分子在Ni纳米膜表面吸附的力学特性：
分子动力学模拟 | | | 杨振宇，赵亚溥? | | | 2006,19(5) [摘要(1158)] [PDF] | | | | | 光致硅微悬臂梁形变理论研究 | | | 郭育林，许谷城，周嘉，黄宜平，鲍敏杭 | | | 2006,19(5) [摘要(1172)] [PDF] | | | | | 硅纳米杆拉伸的分子动力学模拟 | | | 付称心，陈云飞a) | | | 2006,19(5) [摘要(1233)] [PDF] | | | | | Y型微管道中磁性纳米液体对混合率的影响 | | | 李振国1,2 李战华1* | | | 2006,19(5) [摘要(1015)] [PDF] | | | | | 基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究 | | | 赵全斌1，2，焦继伟1，杨恒1，林梓鑫1，李铁1，张颖1，王跃林1 | | | 2006,19(5) [摘要(1230)] [PDF] | | | | | 粗糙表面的可控润湿性研究* | | | 朱亮1,2 冯焱颖**1,2 叶雄英1,2 武雁斌1 周兆英1 | | | 2006,19(5) [摘要(1317)] [PDF] | | | | | 硅纳米梁的静态特性分析 | | | 鲍芳，于虹，黄庆安 | | | 2006,19(5) [摘要(1036)] [PDF] | | | |
本期目录 | | | 一种CMOS工艺兼容的PMOS管红外探测器 | | | 王明照1 于峰崎2 高淑琴1 | | | 2006,19(5) [摘要(1166)] [PDF] | | | | | 非晶硅微测辐射热计热学和光学分析 | | | 李世彬,吴志明,蒋亚东,李伟,廖乃镘 | | | 2006,19(5) [摘要(967)] [PDF] | | | | | 有聚酰亚胺绝热层的新型非制冷红外探测器 | | | 刘兴明 韩琳 刘理天 | | | 2006,19(5) [摘要(1143)] [PDF] | | | | | 计入空气阻尼的MEMS微谐振器非线性动力学研究 | | | 高嵘 王小静 张效翔 王敏 于茂华 谢明春 | | | 2006,19(5) [摘要(1346)] [PDF] | | | | | 微测辐射热计微桥结构性能分析 | | | 李素 吴志明 蒋亚东 杨晓瑜 | | | 2006,19(5) [摘要(1285)] [PDF] | | | | | 一种低成本光通信用MEMS可变光衰减器 | | | 李海军1,2 杨拥军1 王建军3 徐永青1 郑七龙1 陈维友2 | | | 2006,19(5) [摘要(1405)] [PDF] | | | | | 聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计 | | | 孔庆峰，梁静秋，钟砚超，侯凤杰，李佳，孙德贵 | | | 2006,19(5) [摘要(1096)] [PDF] | | | | | 基于严格耦合波理论的亚波长金属光栅偏振器设计① | | | 张娜 褚金奎 赵开春 孟凡涛 | | | 2006,19(5) [摘要(1205)] [PDF] | | | | | 基于PDLC的可变光衰减器的研制 | | | 仲志成12 陈维友1刘彩霞1张歆东1王明峰1 唐勇1 贾翠萍1薛海林1 | | | 2006,19(5) [摘要(1324)] [PDF] | | | | | 基于介质上电润湿的平面可变焦液体微透镜* | | | 欧阳帆, 吴建刚, 康明, 岳瑞峰**, 刘理天 | | | 2006,19(5) [摘要(1227)] [PDF] | | | | | 基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 | | | 栗大超1’弘，吴文刚1，袁勇1，陈庆华1，郝一龙1，胡小唐2 | | | 2006,19(5) [摘要(1298)] [PDF] | | | | | 微型可编程光栅光谱模拟特性及其应用研究 | | | 安飞，苑伟政，乔大勇，秦冲 | | | 2006,19(5) [摘要(1082)] [PDF] | | | | | 微机械折叠波导慢波结构冷测特性的研究 | | | 朱正鹏 ,2，缪旻2, 3，瞿波4，金玉丰2，冯进军4 | | | 2006,19(5) [摘要(1145)] [PDF] | | | | | 分立活塞式MEMS微变形镜的系统级设计 | | | 虞益挺,苑伟政,乔大勇,李晓莹 | | | 2006,19(5) [摘要(1076)] [PDF] | | | | | 平面内运动热执行器的节点模型 | | | 黎仁刚 黄庆安 李伟华 | | | 2006,19(5) [摘要(1056)] [PDF] | | | | | 波长扫描方法测试光栅平动式光调制器的微间距 | | | 张洁，黄尚廉，张智海，孙吉勇 | | | 2006,19(5) [摘要(1136)] [PDF] | | | | | 基于EWOD的锥形管状结构液体变焦透镜 | | | 康明，岳瑞峰**，吴建刚，欧阳帆，刘理天 | | | 2006,19(5) [摘要(1068)] [PDF] | | | | | 以Si3N4作增透膜的Si基Ge量子点探测器的研究 | | | 魏榕山1，邓宁1，王民生1，张爽1，陈培毅1，刘理天1，张璟2 | | | 2006,19(5) [摘要(1436)] [PDF] | | | | | 铕激活的铝酸锂发光性能研究 | | | 杨雪峰 宁桂玲 林源 | | | 2006,19(5) [摘要(1093)] [PDF] | | | | | SiNx 和SiC 材料的红外吸收特性研究 | | | 王 欣,于晓梅3,田大宇 | | | 2006,19(5) [摘要(1594)] [PDF] | | | | | 基于CPLD的光积分时间可调线阵CCD驱动电路设计 | | | 姬先举，温志渝 | | | 2006,19(5) [摘要(1164)] [PDF] | | | | | 基于Linux的微型光谱仪专用USB接口驱动程序设计 | | | 肖勇，温志渝，洪明坚 | | | 2006,19(5) [摘要(1132)] [PDF] | | | | | 一种基于ARM的仿生偏振光测试系统的研究 | | | 刘利兵1 金仁成1 赵开春2 姚弘轶2 | | | 2006,19(5) [摘要(1081)] [PDF] | | | | | 溶胶-电雾化法在光纤表面制备PZT薄膜 | | | 吴亚雷?，吴建华，褚家如*? | | | 2006,19(5) [摘要(1093)] [PDF] | | | | | 激光点火用微光开关的耦合特性仿真分析 | | | 赵兴海 高杨 程永生 | | | 2006,19(5) [摘要(1039)] [PDF] | | | | | 静电驱动微梁的节点分析法 | | | 李敏 黄庆安 李伟华 | | | 2006,19(5) [摘要(1171)] [PDF] | | | | | PHEMT电离辐照效应研究 | | | 杨广林?1）杜磊1）庄奕琪2）何亮1）胡瑾1）刘宇安1） | | | 2006,19(5) [摘要(1038)] [PDF] | | | | | 电纺定向聚氧化乙烯纳米纤维 | | | 吴德志，孙道恒 | | | 2006,19(5) [摘要(975)] [PDF] | | | | | 微型电容式压力传感器中的温度效应 | | | 黄哲琳1 冯勇建2 | | | 2006,19(5) [摘要(1181)] [PDF] | | | | | 不同淀积温度多晶硅纳米薄膜的压阻特性 | | | 揣荣岩1,2 刘晓为1 潘慧艳1 王蔚1 张颍1 | | | 2006,19(5) [摘要(1376)] [PDF] | | | | | 硅基TPMS集成传感器研究 | | | 张兆华1，刘兵武1，张艳红1，谭智敏2，林惠旺2，刘理天1 | | | 2006,19(5) [摘要(959)] [PDF] | | | | | 基于倒装技术的电容式绝对压力传感器研究 | | | 周伟，秦明 | | | 2006,19(5) [摘要(1136)] [PDF] | | | | | TPMS硅基压阻式压力传感器的研制 | | | 张艳红，刘兵武，刘理天，张兆华，谭智敏，林惠旺 | | | 2006,19(5) [摘要(1260)] [PDF] | | | | | 一种单片集成硅压力传感器的放大控制电路设计 | | | 曾鹏，张正元 | | | 2006,19(5) [摘要(1436)] [PDF] | | | | | 微型高温压力传感器芯片设计分析与优化 | | | 赵艳平1 , 丁建宁1 , 杨继昌1 , 王权1 , 薛伟1，2 | | | 2006,19(5) [摘要(1272)] [PDF] | | | | | 基于强度解调的Fabry－Perot型光纤MEMS压力传感器 | | | 葛益娴 王鸣* 陈绪兴 李明 | | | 2006,19(5) [摘要(1322)] [PDF] | | | | | 基于模态分析的静电驱动圆薄板宏模型建立方法 | | | 林谢昭1,2 应济1 | | | 2006,19(5) [摘要(1137)] [PDF] | | | | | 电磁激励的硅谐振梁设计和有限元分析 | | | 潘军，秦明，黄庆安 | | | 2006,19(5) [摘要(1278)] [PDF] | | | | | 具有空间连续行为的微型压力传感器系统级建模 | | | 张承亮,马炳和3 ,常洪龙,苑伟政 | | | 2006,19(5) [摘要(1091)] [PDF] | | | | | 基于共振隧穿二极管的GaAs基压力传感器研制 | | | 王建 张文栋 薛晨阳 熊继军 张斌珍 仝召民 | | | 2006,19(5) [摘要(1073)] [PDF] | | | | | MEMS压力传感器批量组装设备的研制 | | | 荣伟彬， 陈立国， 孙立宁，谢 晖 | | | 2006,19(5) [摘要(1164)] [PDF] | | | | | 应力对硅悬空薄膜的机械灵敏度的影响 | | | 宋义超，徐晨，赵林林，李博，沈光地 | | | 2006,19(5) [摘要(1090)] [PDF] | | | | | 一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计 | | | 任森，苑伟政，邓进军 | | | 2006,19(5) [摘要(1457)] [PDF] | | | | | 基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制 | | | 胡洪平 林雁飞 冯勇建* | | | 2006,19(5) [摘要(1385)] [PDF] | | | | | 一种新型CMOS电容式绝对压力传感器的设计 | | | 刘娜 黄庆安 秦明 | | | 2006,19(5) [摘要(1616)] [PDF] | | | | | 集成气象芯片中热应力对压力膜的影响的有限元分析 | | | 姚素瑜，秦明，黄庆安 | | | 2006,19(5) [摘要(968)] [PDF] | | | | | 基于MATLAB的微气压传感器测试系统的气压控制仿真 | | | 陈 涛1 金仁成2 张凤田2 王宏斌1 | | | 2006,19(5) [摘要(1340)] [PDF] | | | | | MEMS器件自动优化算法 | | | 赖文滨 李伟华 | | | 2006,19(5) [摘要(1242)] [PDF] | | | | | 基于波长解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器的设计 | | | 陈绪兴 王鸣 戎华 葛益娴 | | | 2006,19(5) [摘要(1118)] [PDF] | | | | | 射频螺线管微电感的设计和仿真 | | | 方东明，赵小林，王西宁，周勇 | | | 2006,19(5) [摘要(1215)] [PDF] | | | | | 基于分布式射频MEMS移相器电容开关的分析与设计 | | | 贺训军 1，2, 吴 群 1, 金博识 1, 宋明歆 2，殷景华 2 | | | 2006,19(5) [摘要(1372)] [PDF] | | | | | 一种新型的分布式MEMS移相器的小型化设计 | | | 金博识1，吴群1，贺训军1, 2 ，唐恺1，杨国辉1，Lee Jong-Chul 1, 3 | | | 2006,19(5) [摘要(1201)] [PDF] | | | | | K波段单片硅MEMS谐振器 | | | 郁元卫1 张勇1 朱健1 贾世星1 陈辰1,2 | | | 2006,19(5) [摘要(1215)] [PDF] | | | | | IntelliSuite® EMagAnalysis：一种真实形变结构的S参数提取工具 | | | 徐帆 ，张善亮，周磊，徐波 | | | 2006,19(5) [摘要(1035)] [PDF] | | | | | 聚酰亚胺（PI）树脂在电容式RF MEMS开关制作中的应用 | | | 彭慧耀1 于映1* 罗仲梓2 王培森1 | | | 2006,19(5) [摘要(1107)] [PDF] | | | | | 新颖的可增强功率处理能力的X-波段RF MEMS开关 | | | 董乔华，廖小平 | | | 2006,19(5) [摘要(1230)] [PDF] | | | | | 衬底同步加热溅射BST薄膜的研究 | | | 张龙 林立强 朱健 卓敏 | | | 2006,19(5) [摘要(1027)] [PDF] | | | | | RF MEMS压控振荡器的研制及相位噪声特性研究 | | | 李丽 张志国 赵正平 郭文胜 | | | 2006,19(5) [摘要(1154)] [PDF] | | | | | 基于力学描述的MEMS悬臂梁系统级动态模拟方法 | | | 张健 李伟华 | | | 2006,19(5) [摘要(1217)] [PDF] | | | | | 薄膜体声波谐振器(FBAR)谐振特性的模拟分析* | | | 汤 亮，郝震宏，乔东海 | | | 2006,19(5) [摘要(1457)] [PDF] | | | | | 新型集成聚合物波导/ 聚合物分散液晶光子射频移相器的设计 | | | 董 玮,刘彩霞,张歆东,阮圣平,周敬然,贾翠萍,王立军,陈维友 | | | 2006,19(5) [摘要(1017)] [PDF] | | | | | 平面线圈型MEMS微电磁驱动器的理论分析与实验研究 | | | 杨昊宇 赵小林 戴旭涵* 邵国成 丁桂甫 | | | 2006,19(5) [摘要(1243)] [PDF] | | | | | 电极形状对FBAR横模特性的影响 | | | 吴碧艳 | | | 2006,19(5) [摘要(1490)] [PDF] | | | | | 高模薄膜体声波谐振器（HBAR）的研究 | | | 董树荣，王德苗 | | | 2006,19(5) [摘要(1080)] [PDF] | | | | | 面向RF IC的片上铁氧体磁膜电感 | | | 杨晨, 刘锋, 任天令, 刘理天 | | | 2006,19(5) [摘要(1132)] [PDF] | | | | | 片上射频磁介质电感的设计与仿真 | | | 张帆，杨晨，刘锋，任天令，刘理天 | | | 2006,19(5) [摘要(1416)] [PDF] | | | | | 一种新型MEMS微波功率传感器的理论模型与优化设计 | | | 黄从朝 黄庆安 廖小平 | | | 2006,19(5) [摘要(1340)] [PDF] | | | | | 电容式RF MEMS开关开关过程产生的电磁波模型和分析 | | | 袁晓林，黄庆安，廖小平? | | | 2006,19(5) [摘要(1233)] [PDF] | | | | | RF MEMS引线键合的射频性能和等效电路研究 | | | 吴含琴 , 廖小平 | | | 2006,19(5) [摘要(1267)] [PDF] | | | |
本期目录 本期目录 | | | 介质层充电对电容式RF MEMS 开关的影响 | | | 吴银锋，万江文，于宁 | | | 2006,19(5) [摘要(1410)] [PDF] | | | | | 200MHz高传输效率薄膜变压器的设计与制备 | | | 郑梁，秦会斌，胡冀，徐军明，叶丽云，刘建 | | | 2006,19(5) [摘要(1030)] [PDF] | | | | | 基于微模塑复制技术的平面线圈研制 | | | 刘 波1，2，吴一辉1，张 平1 | | | 2006,19(5) [摘要(1237)] [PDF] | | | | | 氮化硅薄膜力学性能的研究及其在射频MEMS开关中的应用 | | | 于映1 吴清鑫1 罗仲梓2 | | | 2006,19(5) [摘要(1382)] [PDF] | | | | | 集成微流体测控芯片的研制 | | | 刘晓为，王蔚，田丽，傅建奇，陈小洁，倪鹤南，曾娟 | | | 2006,19(5) [摘要(1172)] [PDF] | | | | | 串联压电微泵特性研究 | | | 崔琦峰1, 刘成良1, Xuan F. (William) Zha 2, 1 | | | 2006,19(5) [摘要(1211)] [PDF] | | | | | 基于NEMS技术的介电泳芯片及其关键工艺问题的研究 | | | 刘泳宏1,2 赵湛1 | | | 2006,19(5) [摘要(1097)] [PDF] | | | | | 基于电渗流的微流控混和芯片系统级建模技术研究 | | | 李红卫，苑伟政，叶芳 | | | 2006,19(5) [摘要(1168)] [PDF] | | | | | 电泳芯片上非接触电导检测器的研究 | | | 朱为维， 温志渝, 徐溢 | | | 2006,19(5) [摘要(1157)] [PDF] | | | | | 用于血样前处理的BioMEMS微流控芯片 | | | 陈兴 崔大付* 刘长春 李辉 | | | 2006,19(5) [摘要(1480)] [PDF] | | | |
本期目录 本期目录 | | | 含微纳结构硅胶整体柱的预处理芯片分析系统的研究 | | | 徐溢1，2 张剑1，2 张钟锋1 温志渝2 | | | 2006,19(5) [摘要(1203)] [PDF] | | | | | 微流道交流电水力泵的数值模拟及优化 | | | 张善亮a Nithin Narayananb 徐波a | | | 2006,19(5) [摘要(1172)] [PDF] | | | | | 新型快速准分子激光微加工方法制备毛细管电泳芯片的研究 | | | 刘莹1 姚李英1 任康宁2 吴坚1 刘世炳1 罗国安1 陈涛1 | | | 2006,19(5) [摘要(975)] [PDF] | | | | | 微流控芯片微通道热压成形中塑料流动的仿真 | | | 尉元杰1，刘冲1，李经民1，彭佳2，祝连义2 | | | 2006,19(5) [摘要(1284)] [PDF] | | | | | 激光加工聚合物微流道暂态弹性热应力分析 | | | 相恒富 傅建中 陈子辰 | | | 2006,19(5) [摘要(1171)] [PDF] | | | | | 聚合物微结构热压成形温度有限元分析 | | | 徐敏1 罗怡1* 王晓东1 李楠2 刘冲2 | | | 2006,19(5) [摘要(1228)] [PDF] | | | | | 一种新型压电式双向无阀微泵的研制 | | | 王 蔚3 ,田 丽,鲍志勇,刘晓为,王喜莲,杨松涛 | | | 2006,19(5) [摘要(1385)] [PDF] | | | | | 微/纳米流体控制用冰阀器件执行过程的数值模拟 | | | 杨 阳，刘 静* | | | 2006,19(5) [摘要(1178)] [PDF] | | | | | 高热流微冷却器的换热性能研究 | | | 蒋洁，郝英立 | | | 2006,19(5) [摘要(1230)] [PDF] | | | | | 利用DEP和流体驱动的碳纳米管组装研究 | | | 谭苗苗，叶雄英，王晓浩，周兆英 | | | 2006,19(5) [摘要(1072)] [PDF] | | | |
本期目录 本期目录 | | | 沸腾情形下开放式毛细微槽中的干涸特性实验研究 | | | 胡学功 唐大伟 | | | 2006,19(5) [摘要(1130)] [PDF] | | | | | CO2激光直写结合湿法刻蚀加工玻璃基微流控芯片 | | | 刘晓清，郝苇苇，高巍巍，周勇亮1* | | | 2006,19(5) [摘要(1376)] [PDF] | | | | | 一种新型硅电容式流速流向传感器的设计 | | | 魏泽文 秦明 黄庆安 | | | 2006,19(5) [摘要(1091)] [PDF] | | | | | 电泳芯片跑道效应CFD软件仿真与优化设计 | | | 田 丽，刘晓为，王蔚，胡自洁 | | | 2006,19(5) [摘要(1300)] [PDF] | | | | | 隧穿磁强计驱动电压的理论计算与实验验证 | | | 汤学华1，尤 政2，胡晓莉 1 | | | 2006,19(5) [摘要(977)] [PDF] | | | | | 自旋阀多层膜巨磁电阻的研制 | | | 温殿忠 | | | 2006,19(5) [摘要(1245)] [PDF] | | | | | 形状参数对MEMS霍尔器件性能影响研究 | | | 宋明歆1 宫纯青1 贺训军1 殷景华1 刘晓为2 | | | 2006,19(5) [摘要(1089)] [PDF] | | | | | SmTbFeCo/ Cr/ TbFeCo 垂直磁化膜的耦合机理与磁特性研究 | | | 王 翔3 ,苏深伟 | | | 2006,19(5) [摘要(1142)] [PDF] | | | | | 低矫顽力GMR 磁传感器的自旋阀结构研究 | | | 刘 鹏3 ,李 伟,刘华瑞,叶双莉,任天令,刘理天 | | | 2006,19(5) [摘要(1110)] [PDF] | | | | | 基于自旋阀的GMR 线性传感器的制作 | | | 李 伟3 ,刘华瑞,刘鹏,任天令,刘理天 | | | 2006,19(5) [摘要(1165)] [PDF] | | | |
本期目录 本期目录 本期目录 | | | 基于微型表面等离子共振生物传感器
的葡萄糖浓度测量技术 | | | 黄显，栗大超?，徐可欣，于海霞，黄福祥，胡小唐 | | | 2006,19(5) [摘要(1424)] [PDF] | | | | | 基于碳纳米管修饰丝网印刷碳糊电极的葡萄糖和尿酸生物传感器 | | | 王酉1，徐惠2，李光2 | | | 2006,19(5) [摘要(1483)] [PDF] | | | | | 基于PVDF膜的QCM对DMMP的气敏特性研究 | | | 应智花，蒋亚东，王华，谢光忠，杜晓松 | | | 2006,19(5) [摘要(1524)] [PDF] | | | | | Pd/SnO2/SiO2/Si集成薄膜的结构与气敏性能 | | | 王磊 杜军 毛昌辉 杨志民 熊玉华 | | | 2006,19(5) [摘要(1276)] [PDF] | | | | | 重构纳米类脂生物膜制备及敏感机理研究 | | | 刘盛平 陈国明 韦云隆 高颖 | | | 2006,19(5) [摘要(994)] [PDF] | | | | | 基于干法光学生物传感器的便携式血红蛋白检测系统 | | | 周爱玉1,2, 岳伟伟1,2, 何保山1,2, 刘春秀1,2, 杨庆德1,2, 蔡新霞1,2,* | | | 2006,19(5) [摘要(1140)] [PDF] | | | | | MEMS技术检测爆炸物的原理与研究进展 | | | 孔德义，诸建彬，齐永光，林丙涛，张正勇，张涛，路巍 | | | 2006,19(5) [摘要(1186)] [PDF] | | | | | 基于MEMS技术和无线射频网络的人体
健康参数采集系统 | | | 余海钱 ，廖海洋，王 涵 | | | 2006,19(5) [摘要(1242)] [PDF] | | | | | 基于激光微加工Al2O3微结构Cl2传感器的制作及性能研究 | | | 施云波，张洪泉，胡竹平，冯桥华，项金娟，郭建英 | | | 2006,19(5) [摘要(1203)] [PDF] | | | | | 采用RIE沉积法研制微纳工艺中的防粘连层 | | | 顾盼 刘景全 陈迪 孙洪文 | | | 2006,19(5) [摘要(1419)] [PDF] | | | | | 基于纳米磁珠技术的新型微全分析DNA芯片的研究 | | | 王聿佶1,2，陈翔3，王彬1,2，金庆辉1，赵建龙1 | | | 2006,19(5) [摘要(1131)] [PDF] | | | | | 沸石分子筛修饰的QCM类神经毒气传感器 | | | 杨涓涓1，任楠，2，周嘉1，张亚红2，刘全1 ，黄宜平1，唐颐2 | | | 2006,19(5) [摘要(1343)] [PDF] | | | | | 基于随机共振的纳米碳管气体传感器的研究 | | | 吴莉莉1 惠国华1 潘敏1 陈裕泉1 张孝彬2 | | | 2006,19(5) [摘要(1275)] [PDF] | | | | | 纳米碳管气体放电气敏传感器中随机共振现象的研究 | | | 惠国华， 吴莉莉， 潘敏，陈裕泉*，张孝彬 | | | 2006,19(5) [摘要(1336)] [PDF] | | | | | 应用生物芯片技术研究人参对衰老小鼠脑组织基因表达谱的影响 | | | 叶芳1，苑伟政2，王宇波3 | | | 2006,19(5) [摘要(1270)] [PDF] | | | | | Love波传感器及其质量灵敏度测试 | | | 胡友旺1，2，史建亮1，2，贾宏光1，吴一辉1 | | | 2006,19(5) [摘要(1146)] [PDF] | | | | | 碳纳米管及其修饰物对挥发性有机物气敏性的研究 | | | 方向生1，郭淼1，陈文菊1，潘敏1，陈裕泉1，张孝彬2 | | | 2006,19(5) [摘要(1420)] [PDF] | | | | | 基于MEMS技术微双桥催化LPG传感器研究 | | | 张洪泉1.2 施云波1 郭建英1 | | | 2006,19(5) [摘要(1343)] [PDF] | | | | | 纳米SmFeO3的合成及其H2S敏感特性研究 | | | 王焕新1 徐甲强1,2 程知萱2 潘庆谊2 | | | 2006,19(5) [摘要(1258)] [PDF] | | | | | 结合LAPS及纳米多孔硅的气体传感器研究# | | | 宗小林 蔡华 余辉 王平* | | | 2006,19(5) [摘要(1083)] [PDF] | | | | | 基于:CH薄膜的微齿轮的制备 | | | 张继成 吴卫东 唐永建 | | | 2006,19(5) [摘要(1071)] [PDF] | | | | | MEMS微探针及其在嗅粘膜神经递质检测中的研究 | | | 刘清君1，徐 莹1，蔡 华1，王 平1 ?，Simon Ang2 | | | 2006,19(5) [摘要(1219)] [PDF] | | | | | 基于微/纳米加工技术的微型电化学免疫传感器研究 | | | 许媛媛，边超，陈绍凤，夏善红 | | | 2006,19(5) [摘要(1311)] [PDF] | | | | | 微型直接甲醇燃料电池极板结构的研究 | | | 张宇峰，刘晓为，王喜莲，王蔚，索春光 | | | 2006,19(5) [摘要(1311)] [PDF] | | | | | MEMS微型质子交换膜燃料电池的阴极极板模型研究与优化设计 | | | 董培涛2, 1 李昕欣1 陈聪1 夏保佳1 王跃林1 封松林1 李圣怡2 | | | 2006,19(5) [摘要(1074)] [PDF] | | | | | 微型直接甲醇燃料电池三维性能数值仿真 | | | 张博, 张宇峰, 刘晓为, 乔育花, 张鹏 | | | 2006,19(5) [摘要(1281)] [PDF] | | | | | 微型自吸氧直接甲醇燃料电池的阳极极板设计研究 | | | 钟凌燕 王晓红* 姜英琪 刘理天 | | | 2006,19(5) [摘要(1184)] [PDF] | | | | | 多孔硅基微型直接甲醇燃料电池用催化电极的制备 | | | 刘晓为，索春光，张宇峰, 张博, 胡泽先 | | | 2006,19(5) [摘要(1224)] [PDF] | | | |
本期目录 本期目录 本期目录 传感器信号处理 本期目录 传感器信号处理 本期目录 传感器信号处理 本期目录 传感器信号处理 本期目录 传感器信号处理 本期目录 本期目录 本期目录 | | | PZT微驱动器磁头的动特性研究 | | | 段传林1 王玉娟1 陈云飞1,2 | | | 2006,19(5) [摘要(1150)] [PDF] | | | | | 基于多重网格控制体方法的皮米磁头气膜压强求解 | | | 阮海林1，王玉娟1，段传林1，陈云飞1,2 | | | 2006,19(5) [摘要(997)] [PDF] | | | | | 微机械陀螺测试与标定技术研究 | | | 杨金显1,2，袁赣南1，徐良臣1,2 | | | 2006,19(5) [摘要(1116)] [PDF] | | | | | 常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性 | | | 刘晓为, 陈宏,陈伟平, 陆学斌，韩天 | | | 2006,19(5) [摘要(1115)] [PDF] | | | | | 硅微压电超声换能器的设计与制作 | | | 郝震宏，汤亮，乔东海，汪承灏 | | | 2006,19(5) [摘要(1341)] [PDF] | | | | | 微声传感器在低空飞行器信号采集系统中的应用 | | | 张朝前 娄文忠 乔杰 | | | 2006,19(5) [摘要(1204)] [PDF] | | | | | 硅微电容传声器的防粘连结构 | | | 潘昕 汪承灏 徐联 魏建辉 | | | 2006,19(5) [摘要(1279)] [PDF] | | | | | 基于共振隧穿二极管的矢量水声传感器设计 | | | 张斌珍1、2，谢斌2，薛晨阳2，张文栋2，陈尚2 | | | 2006,19(5) [摘要(1104)] [PDF] | | | | | 基于微机械加速度计的振速水听器的设计与分析 | | | 安鹏 苑伟政 张承亮 | | | 2006,19(5) [摘要(1124)] [PDF] | | | | | 电容式微加工超声传感器（cMUT）的有限元仿真 | | | 宋光德，官志坚，栗大超 | | | 2006,19(5) [摘要(1374)] [PDF] | | | |
本期目录 本期目录 本期目录 | | | 纳米Al薄膜表面形貌与导电性的分形表征 | | | 付永忠，丁建宁，解国新，杨继昌 | | | 2006,19(5) [摘要(1271)] [PDF] | | | | | 水热法合成纳米粉体LiNbO3 及其烧结体介电特征 | | | 陈振宁 ,程世婧,刘欣荣 | | | 2006,19(5) [摘要(1784)] [PDF] | | | | | 电化学阳极氧化自组织TiO2 纳米管阵列的研究 | | | 田甜，肖秀峰，刘榕芳 | | | 2006,19(5) [摘要(1198)] [PDF] | | | | | 水基TiO2纳米浆体的制备及其分散稳定研究 | | | 林本兰 沈晓冬 崔 升 | | | 2006,19(5) [摘要(1312)] [PDF] | | | | | Cd2+掺杂SnO2纳米棒的制备与特性研究 | | | 赵鹤云1,3，李耀华2，吴兴惠1 | | | 2006,19(5) [摘要(1268)] [PDF] | | | | | 纳米Fe3O4表面聚合接枝的XPS分析 | | | 崔 升 沈晓冬 林本兰 徐娜 | | | 2006,19(5) [摘要(1775)] [PDF] | | | | | 掺锑氧化锡纳米粉末的制备和表征 | | | 杨 芬， 张学俊，甘复兴 | | | 2006,19(5) [摘要(1091)] [PDF] | | | | | 用于MEMS器件制造的深反应离子刻蚀设备 | | | 陈特超 禹庆荣 龚杰洪 张冬艳 伍波 李键志 | | | 2006,19(5) [摘要(1850)] [PDF] | | | | | 微波法快速合成氧化锌纳米棒 | | | 孔祥荣 邱 晨 刘 强 刘 琳 郑文君 | | | 2006,19(5) [摘要(1073)] [PDF] | | | | | 铜基纳米功能复合材料的微观形貌特征 | | | 楼白杨 周玉浜 徐斌 杨玉君 | | | 2006,19(5) [摘要(980)] [PDF] | | | | | 催化剂制备和活化条件对碳纳米管生长影响的研究 | | | 唐长兴a，瞿美臻b，于作龙b | | | 2006,19(5) [摘要(1109)] [PDF] | | | | | MEMS结构中碳纳米管的电泳沉积及其场发射特性研究 | | | 郭琳瑞，陈烽，叶雄英，刘力涛，伍康，周兆英 | | | 2006,19(5) [摘要(1416)] [PDF] | | | | | 微米孔阵列振幅型光子筛的设计和制作 | | | 程冠晓1，2，邢廷文1， 林妩媚1， 周金梅1, 邱传凯1， 廖志杰1，2, 马建玲3 | | | 2006,19(5) [摘要(1129)] [PDF] | | | | | 催化裂解简单合成离散的短纳米碳管 | | | 弓巧娟 李贺军 * 王 翔 李克智 | | | 2006,19(5) [摘要(1210)] [PDF] | | | | | 纳米CuAl2O4粉体的合成工艺条件及其表征 | | | 隋小涛1, 于 乔1, 姜妍彦1,2，唐乃岭1，谷秀梅1，宁桂玲2 | | | 2006,19(5) [摘要(1189)] [PDF] | | | | | PEG辅助纳米TiO2的可控制备及其光催化活性 | | | 包 南1，孙 剑1，谢 晴2，马志会1 | | | 2006,19(5) [摘要(1261)] [PDF] | | | | | 微结构参数对多孔硅层热绝缘性能的影响 | | | 胡明，张伟，张绪瑞，杨海波 | | | 2006,19(5) [摘要(1185)] [PDF] | | | | | 微乳液法制备纳米WO3粉体 | | | 刁显珍，侯长军 | | | 2006,19(5) [摘要(1153)] [PDF] | | | | | 用于神经电信号记录的多通道微探针 | | | 隋晓红?? 张若昕 裴为华 鲁琳 陈弘达 | | | 2006,19(5) [摘要(1091)] [PDF] | | | | | Nd:YAG激光陶瓷纳米粉体的制备方法研究 | | | 万艳芬?，曹全喜，李双春，李珍，苏董杰 | | | 2006,19(5) [摘要(1198)] [PDF] | | | | | 纳米SnO2材料的电子显微镜表征 | | | 黄世震1，2 ，陈文哲3，林伟1，2，丁晓坤4 | | | 2006,19(5) [摘要(1805)] [PDF] | | | | | 用于MEMS的叠层光刻胶牺牲层技术 | | | 张永华a,b,* 丁桂甫b 姜政b 蔡炳初b 赖宗声a | | | 2006,19(5) [摘要(1601)] [PDF] | | | | | MEMS工艺中反应离子深刻蚀硅片的数值模型研究 | | | 张 鉴 黄庆安 李伟华 | | | 2006,19(5) [摘要(1459)] [PDF] | | | | | EPW腐蚀液中制作近似圆形硅膜研究 | | | 赵晓锋，温殿忠，王天琦，任 华 | | | 2006,19(5) [摘要(1177)] [PDF] | | | | | PVD溅射技术在MEMS器件制作中的应用 | | | 王雄 吴学忠 | | | 2006,19(5) [摘要(1282)] [PDF] | | | | | Cr薄膜的沉积与湿法刻蚀工艺研究 | | | 李兆泽 徐超 吴学忠 万红 李圣怡 | | | 2006,19(5) [摘要(1958)] [PDF] | | | | | AFM诱导氧化脉冲宽度与Si纳米加工 | | | 刘庆纲*1 何博涛1 张超艳1 祁森1 张世林2 胡小唐1 | | | 2006,19(5) [摘要(1280)] [PDF] | | | | | Si基Cu/NiFe薄膜的生长及其粘附特性研究 | | | 张涛1，2 吴一辉1 张平1 王淑荣1 | | | 2006,19(5) [摘要(1391)] [PDF] | | | | | MEMS应用中的的TiN薄膜工艺研究 | | | 杨梅1,2，舒琼1，陈兢1,2 | | | 2006,19(5) [摘要(1329)] [PDF] | | | | | 利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构 | | | 闫永达, 孙涛, 董申 | | | 2006,19(5) [摘要(1361)] [PDF] | | | | | 基于纳米压印技术的光伏器件微三维构型研究 | | | 尹 磊 刘红忠 丁玉成 卢秉恒 | | | 2006,19(5) [摘要(1347)] [PDF] | | | | | 射频反应溅射制备AlN薄膜的研究 | | | 李侃，董树荣，王德苗 | | | 2006,19(5) [摘要(1425)] [PDF] | | | | | 一种新颖的基于离子束刻蚀的纳米沟道制备技术 | | | 史明甫 焦继伟 包晓清 冯飞 杨恒 李铁 王跃林 | | | 2006,19(5) [摘要(1328)] [PDF] | | | | | (大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁 大连，116024) | | | 庄俭, 于同敏, 王敏杰 | | | 2006,19(5) [摘要(1329)] [PDF] | | | | | SU-8胶在深紫外光源下的光强分布模拟 | | | 冯明 黄庆安 李伟华 周再发 朱真 | | | 2006,19(5) [摘要(1128)] [PDF] | | | | | 带三维结构的惯性MEMS器件的微细铣削加工 | | | 王波 梁迎春 孙雅洲 谭亚明 | | | 2006,19(5) [摘要(1136)] [PDF] | | | | | 面向膜电极的选择性生成纳米级多孔硅技术的研究 | | | 王温静 王晓红 姜英琪 胡小龙 刘理天 | | | 2006,19(5) [摘要(1204)] [PDF] | | | | | 无背板生长工艺微电铸均匀性的实验研究 | | | 刘海军1,2，杜立群1,2，秦江2，朱神渺2 | | | 2006,19(5) [摘要(1166)] [PDF] | | | | | 三维微弹簧型MEMS探卡的设计和制备 | | | 靖向萌，陈迪，张晔，张保增，刘景全，陈翔，朱军 | | | 2006,19(5) [摘要(1547)] [PDF] | | | |
传感器信号处理 本期目录 | | | 基于弯曲测试的纳结构机械力学特性的表征 | | | 徐临燕1, 栗大超1, 2, , 胡小唐1, 张海霞2, 黄玉波1 | | | 2006,19(5) [摘要(1041)] [PDF] | | | | | 用侧向力显微镜对力/电/热耦合作用下金表面力学行为的研究 | | | 王权1，丁建宁1，薛伟2，余朋清1 | | | 2006,19(5) [摘要(1027)] [PDF] | | | | | MEMS显微干涉测量系统中相移器性能的研究 | | | 郭彤，胡春光，陈津平，傅星，胡小唐 | | | 2006,19(5) [摘要(1077)] [PDF] | | | | | 三维微触觉MEMS传感器测试校准的方法与系统 | | | 赵大博, 栗大超*, 李源， 傅星， 胡小唐 | | | 2006,19(5) [摘要(1376)] [PDF] | | | | | 用三维MEMS力学量传感器对涌浪微观形态测量的研究 | | | 徐克宝1，王军成2，陈广庆1，高丽丽1，李小波1 | | | 2006,19(5) [摘要(1129)] [PDF] | | | | | 应用于纳米测量机的
MEMS微接触式测头的结构设计和优化 | | | 李源，栗大超*，胡小唐，赵大博，郭彤，陈津平 | | | 2006,19(5) [摘要(1033)] [PDF] | | | | | 利用白光干涉原理测量MEMS深槽结构 | | | 薛晨阳，孔繁华，张文栋，熊继军，张斌珍，郑丽娜 | | | 2006,19(5) [摘要(1681)] [PDF] | | | | | 纳米级光栅容栅融合测量系统研究 | | | 毛谦敏、刘安坤、沈为民、张增耀 | | | 2006,19(5) [摘要(1195)] [PDF] | | | | | SU-8胶微结构的尺寸公差研究 | | | 秦江1,2，杜立群1,2，刘冲1,2，朱神渺2 | | | 2006,19(5) [摘要(1024)] [PDF] | | | | | MEMS薄膜平均应力梯度及等效弹性模量在线提取方法 | | | 戎华 王鸣 | | | 2006,19(5) [摘要(1047)] [PDF] | | | | | 基于硅微梳齿型谐振器的MEMS动态测试研究 | | | 郑丽娜,薛晨阳,张文栋,熊继军,张斌珍,孔繁华 | | | 2006,19(5) [摘要(1105)] [PDF] | | | | | 基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统 | | | 李巧萍，李伟华 | | | 2006,19(5) [摘要(996)] [PDF] | | | | | 一种MEMS微结构谐振频率的测试技术 | | | 王晓东，王涛，李楠，刘梦伟，崔岩，王立鼎 | | | 2006,19(5) [摘要(1183)] [PDF] | | | | | 硅谐振微传感器中微弱信号频率的外差式随机共振检测 | | | 黄咏梅 林 敏 | | | 2006,19(5) [摘要(1299)] [PDF] | | | | | 利用3ω法同时测量Nd:YAG晶体及其表面
SiO2/ZrO2增透膜导热系数 | | | 王照亮1,2 唐大伟1 | | | 2006,19(5) [摘要(1253)] [PDF] | | | | | 微器件自动装配系统的定标和操纵策略 | | | 吴建华，吴亚雷，褚家如 | | | 2006,19(5) [摘要(1078)] [PDF] | | | | | 一种大行程高精度微执行器的研究 | | | 姜文锐，卢泽生 | | | 2006,19(5) [摘要(1405)] [PDF] | | | | | 基于柔性铰链的热驱动微夹钳的实验和仿真分析 | | | 王旭，沈雪瑾，张永宇 | | | 2006,19(5) [摘要(1209)] [PDF] | | | | | 叶轮式流量传感器检测电路的设计与调试 | | | 孙萍, 张璐, 魏泽文, 秦明, 黄庆安 | | | 2006,19(5) [摘要(1116)] [PDF] | | | |
传感器信号处理 本期目录 | | | 脉冲调制型恒温差风速计控制电路的设计
及其温漂特性测试 | | | 丁高飞 秦明 沈广平 | | | 2006,19(5) [摘要(1544)] [PDF] | | | | | 用于MEMS传感器批量制造的微装配系统 | | | 荣伟彬，谢晖’，孙立宁 | | | 2006,19(5) [摘要(1108)] [PDF] | | | | | 大规模多点测温中缩短巡检周期的一种璐18820访问协议 | | | 陈良光，李雄杰2，徐斌1 | | | 2006,19(5) [摘要(859)] [PDF] | | | | | 新型桥式连接音频功率放大器设计 | | | 何卫东，蒋亚东 | | | 2006,19(5) [摘要(1108)] [PDF] | | | | | 一种高性能DC/DC变换器的分析设计 | | | 王宁，蒋亚东 | | | 2006,19(5) [摘要(1223)] [PDF] | | | | | 冲击载荷下BGA焊点应有限元模拟 | | | 张杰+，杨平 | | | 2006,19(5) [摘要(1092)] [PDF] | | | | | 一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型 | | | 李雪萍1, 2, 丁桂甫1, 安藤妙子2, 式田光宏2, 佐藤一雄2 | | | 2006,19(5) [摘要(1030)] [PDF] | | | | | 多晶硅梁疲劳损坏特性的研究 | | | 余存江1 唐洁影1 恩云飞2 师谦2 | | | 2006,19(5) [摘要(1248)] [PDF] | | | | | MEMS微悬臂梁在冲击下的粘附失效预测* | | | 王佩瑶1 唐洁影1 余存江1 恩云飞2 师谦2 | | | 2006,19(5) [摘要(1563)] [PDF] | | | | | COB封装中热－机械耦合效应的研究* | | | 李 明，黄庆安，宋 竞，陈凡秀，唐洁影，余存江 | | | 2006,19(5) [摘要(1467)] [PDF] | | | | | 微机械高冲击传感器的一种失效模式研究 | | | 孙远程1,2 杨波2 彭勃2 赵龙2 张茜梅2 | | | 2006,19(5) [摘要(1150)] [PDF] | | | | | MEMS器件热致封装效应的解析建模研究 | | | 宋 竞，黄庆安，唐洁影 | | | 2006,19(5) [摘要(1153)] [PDF] | | | | | 方形重掺杂硅薄膜的极限载荷分析* | | | 徐晨，施梦娱，赵林林，李博，沈光地 | | | 2006,19(5) [摘要(979)] [PDF] | | | | | 微构件316L在力电耦合下力学行为实验研究 | | | 薛伟1,2, 王权2，丁建宁2，余朋清2 | | | 2006,19(5) [摘要(1092)] [PDF] | | | | | 温度冲击下倒装芯片的热应力数值模拟研究 | | | 娄文忠 马婷 于秀丽 | | | 2006,19(5) [摘要(1025)] [PDF] | | | |
本期目录 | | | 多壁纳米碳管振子及其能量耗散的分子动力学模拟 | | | 王晓辉1 毕可东1 王玉娟1 陈云飞1, 2, | | | 2006,19(5) [摘要(1257)] [PDF] | | | | | 纳米管道中电渗流的分子动力学仿真 | | | 王桂明, 陈敏华1 , 杨决宽1 , 陈云飞1 ,2 | | | 2006,19(5) [摘要(1517)] [PDF] | | | | | 受限于平行硅板中水的分子动力学模拟 | | | 陈博1 陈云飞1, 2,? | | | 2006,19(5) [摘要(1142)] [PDF] | | | | | 微齿轮系统中接触齿廓间范德华力计算方法研究 | | | 杨平 张华中 | | | 2006,19(5) [摘要(1191)] [PDF] | | | | | 近场热记录系统热响应过程的分子动力学仿真 | | | 黄灵娟1 王玉娟1 陈云飞1, 2 | | | 2006,19(5) [摘要(1036)] [PDF] | | | | | 计及Casimir效应时旋转式NEMS致动器的动态稳定性研究 | | | 郭建刚，赵亚溥? | | | 2006,19(5) [摘要(997)] [PDF] | | | | | 原子尺度下摩擦的研究* | | | 罗彬宾1 李祥1 陈云飞2 | | | 2006,19(5) [摘要(1030)] [PDF] | | | | | 乌梢蛇腹部表皮的纳米力学性能研究 | | | 张占立1、2 杨继昌1 丁建宁1 胡友耀1 | | | 2006,19(5) [摘要(1164)] [PDF] | | | | | 双电层对纳米流体润滑与摩擦影响的MD模拟
(2.东南大学MEMS教育部重点实验室 南京 210096） | | | 王家峻1 林晓辉1 杨决宽1 陈云飞1, 2,? | | | 2006,19(5) [摘要(1975)] [PDF] | | | | | 基于分子动力学的超晶格薄膜的导热系数影响因素分析 | | | 胡瀚1 陈敏华1 陈云飞1, 2,? | | | 2006,19(5) [摘要(1117)] [PDF] | | | | | 范德华力作用下粗糙表面静态粘附的研究 | | | 丁建宁 张建 杨平 凌智勇 范真 | | | 2006,19(5) [摘要(1689)] [PDF] | | | | | 氮化铝陶瓷薄膜热导率的分子动力学模拟 | | | 杨平 沈敏 王鸣 | | | 2006,19(5) [摘要(1413)] [PDF] | | | | | 纳米薄膜面向导热系数的分子动力学模拟 | | | 徐跃飞 廖恒成 | | | 2006,19(5) [摘要(1286)] [PDF] | | | | | 微/纳米冰镊操作器执行过程的数值模拟 | | | 杨 阳，刘 静* | | | 2006,19(5) [摘要(1335)] [PDF] | | | | | 一种用于高密度信息存储中数据读取的新方法的
理论和实验研究 | | | 许晓慧,赵 钢,文 莉,吴亚雷,褚家如3 | | | 2006,19(5) [摘要(925)] [PDF] | | | | | V型微通道热沉的
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