中文摘要: 设计了一种基于氮化铝(AIN)兰姆波谐振器和超表面的谐振式热红外探测器，基于超表面结构的吸收器用于对特定波长红外辐射的吸收，再利用AIN兰姆波谐振器的温度频率效应检测红外辐射。首先，对兰姆波谐振器的电极周期、电极宽度、AIN薄膜厚度和支撑轴尺寸进行优化设计，设计了电极周期分别为12 μm和1.2 μm的谐振器结构，其工作频率分别为365 MHz和2544 MHz。其次，设计了方形结构超表面的等离子体吸收器，并研究分析其红外吸收机理及结构尺寸对吸收性能的影响规律。通过集成超表面红外吸收器并调节吸收结构尺寸，实现可调谐、近100%的双带吸收性能，在3~5 μm和8~12 μm处的吸收率均超过99.5%，谐振式热红外探测器的响应时间低于0.8 ms、热噪声等效功率低于10e-11 Hz/μW。