中文摘要: 由于具备较高的定位精确度，压电陶瓷驱动器在超精密加工、微纳米测试等领域应用广泛，然而压电陶瓷固有的迟滞性严重影响其定位精确度。本文研究驱动范围对压电陶瓷驱动器迟滞性的影响，实验得出迟滞性随驱动范围增大而显著。而在压电陶瓷驱动器的实际应用中，驱动范围是其主要的设置参数之一。为此，本论文提出基于自适应Prandtle-Ishlinskii（PI）模型的拟合方法，根据不同驱动范围下获得的迟滞曲线的斜率变化趋势设置分段区间，采用二次规划算法辨识PI模型的权重参数，基于分段区间对迟滞曲线进行拟合，大大提高了拟合精确度。设计基于自适应PI模型的逆模型作为前馈控制器对压电陶瓷驱动器进行迟滞补偿，并搭建基于Labview的实验平台验证了该算法的可行性。实验结果表明，基于自适应PI逆模型的前馈控制器将压电陶瓷驱动器的定位精确度提高至1.8nm。