中文摘要: 为了提高微型磁通门传感器的性能，本文改进铁芯结构，基于MEMS工艺制作了35组不同结构的长条形阵列铁芯。利用双铁芯线圈结构磁通门对制作的35组长条形阵列铁芯进行了磁通门性能指标的测试，分析了长条形阵列铁芯排列密度以及单条铁芯宽度对磁通门最佳激励电流、线性范围、灵敏度以及噪声的影响规律。研究结果表明，当单条铁芯相邻宽度为35μm以及单条铁芯宽度为60μm时，长条形阵列铁芯的磁通门综合性能指标优于传统薄膜铁芯的磁通门性能。