中文摘要: 摘要:针对目前超材料温度传感器存在的量程小且灵敏度较低的问题，设计了一种碳氮化硅基的S型超材料的高温传感器。通过CST电磁仿真软件对超材料温度传感器进行模拟仿真，在其它结构参数一定的情况下，对金属条的长度、宽度、厚度、条间隙及基板厚度等参数进行了设计与优化，确定了传感器结构的最佳尺寸，同时分析了传感器的谐振频率对温度的影响。结果表明，在28℃~1000℃下平均灵敏度可达5.674MHz/℃。与之前报道的高温传感器相比，灵敏度提高了5倍，这种高灵敏度温度传感器可为航空发动机、武器装备等系统中的高温测试提供一种技术手段。