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:2024,37(2):189-194
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热振子式Z轴MEMS角速度陀螺敏感机理的研究
(北京信息科技大学?北京市传感器重点实验室)
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中文摘要: 揭示了一种热振子式Z轴MEMS角速度陀螺的敏感机理。在给出工作原理、热振子的振动模态和陀螺效应的基础上,对敏感结构内的温度场进行了计算。结果表明:(1)开机1.8s后在敏感结构内形成一个稳定的温度场。(2)热振子在Y方向建立驱动模态,当沿着Z轴输入角速度时,在哥氏力的作用下热振子沿着X方向移动,造成温度场偏移,X方向上对称平行设置的两热线温差ΔTX随着输入加速度az的加大呈现线性增长,温度灵敏度为125mK/°/s。(4)根据输入-输出ωz-VXout特性曲线,得到数学模型,揭示了该陀螺的敏感机理,陀螺灵敏度为0.095mV/°/s,非线性度为2.97%。本文为优化结构奠定了实用理论基础。
Abstract:
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文章编号:cg220387     中图分类号:TP212.1    文献标志码:
基金项目:国家自然科学基金资助项目(61771060);北京市新世纪百千万人才工程培养资助项目(2019A20);北京市自然科学基金重点项目(KZ201511232034);北京市重点实验室开放课题资助项目(2021202209);北京信息科技大学学科与研究生教育校内项目(202205D);现代测控技术教育部重点实验室资助(20222023D);北京信息科技大学北京市传感器重点实验室资助(202212)
Author NameAffiliationE-mail
  bjplh@163.com 
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