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中文摘要: 轴承是旋转机械最易发生故障的零件，一旦发生故障，就会影响整个机械系统的运行，因此，对轴承的运行状态进行有效的监测意义重大。本文提出一种基于蝶翼式MEMS振动传感器的轴承故障信号检测方法，具体介绍了蝶翼式MEMS振动传感器的设计、加工以及与之级联的电子谐振器的设计。仿真和应用验证表明，所提出的方法能够有效提取轴承故障信号。
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文章编号：cg220319 中图分类号：ＴＭ３８ 文献标志码：
基金项目:国家自然科学基金项目(５１７０５２６１)；浙江省教育厅一般科研项目(Ｙ２０２２４８８６１)
| Author Name | Affiliation | |
| zuowanli@nbu.edu.cn |
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