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中文摘要: MEMS传感器放置位置的准确性对部分高精密系统的精准检测至关重要。据此,本文提出一种基于微振动台的传感器位置偏移检测与自校准系统。并采用MPU6050模块实验论证器件位置偏移对其输出性能的影响。为了实现器件位置偏移定量检测与校准,建立基于MEMS微振动台的传感器位置偏移检测与自校准模型,有限元仿真分析传感器位置偏移,对器件输出性能的影响。仿真结果表明:当传感器在微振动台中心位置时,机械灵敏度和电容分辨率分别提高了1.31%和1.25%。放置偏移后,器件其灵敏度和电容分辨率呈现线性下降,通过建立器件位置偏移与输出性能下降的对应关系,为后续的信号处理算法补偿传感器输出结果,实现器件性能校准提供了一种便捷实用的设计方案。
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文章编号:cg210457 中图分类号:TP212.1 文献标志码:
基金项目:(61871167,U1909221,62111530298)
作者 | 单位 | |
徐 娜 颜嘉铭 邢运宏 刘超然 杨伟煌 王敏昌 李杜娟 董林玺 | 杭州电子科技大学电子信息学院,智能微传感器与微系统教育部工程研究中心;杭州士兰微电子股份有限公司 | donglinxi@hdu.edu.cn |
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donglinxi@hdu.edu.cn |
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