王跃林，男，博士、教授，1982年在浙江大学获学士学位,1985年在哈尔滨工业大学获硕士学位,1989年在清华大学获博士学位,1985年8月开始在浙江大学信电系工作，1991年晋升副教授，1993年晋升教授，1994年聘为博导，1998年入选中科院“百人计划”到上海微系统所工作，2001年终期评估为优秀。1982年开始从事微传感器的研究工作,1986年开始从事MEMS的研究工作。在Proceedings of the IEEE等国内外杂志和会议上发表论文200余篇，授权发明专利20余项，受理发明专利20余项。1991年被原国家教委列为全国重点跟踪的优秀青年教师，并获最高数额的霍英东青年教师基金资助，1992年开始享受政府特殊津贴，获上海市科技进步一等奖一项、二等奖二项和教育部自然科学二等奖一项，2004年入选首批新世纪百千万人才工程国家级人选。国家重点基础研究发展计划（973计划）《集成微光机电系统研究》和《BNI融合的微纳传感器及其系统研究》项目首席科学家。国际固态传感器和执行器会议“Transducers01，03，07”程序委员会委员， Sensors & Materials和电子学报等杂志编委、中国微米纳米技术学会常务理事、上海市传感技术学会理事长、中国仪器仪表学会传感器学会和仪表工艺学会副理事长、中国仪器仪表行业协会传感器分会副理事长、IEEE高级会员。培养的博士生在2000年获全国百篇优秀博士学位论文奖。
李永祥，男 ，现为中科院上海硅酸盐研究所研究员，博士生导师，中国科学院“百人计划”入选者。IEEE高级会员及其UFFC上海分会负责人；美国陶瓷学会会员，中国电子学会高级会员，中国电子学会元件专业委员会第六、第七届、第八届委员会委员，上海硅酸盐学会特种陶瓷专委会主任委员。重要学术刊物如《科学通报》特约编辑(Associated Editor)、《Sensors Letters》编委会成员（Member of Editorial Board）、《Chinese Physics Letters》特约审稿人、《无机材料学报》编委会委员。发表SCI收录论文100多篇, 被他人引用600余次，EI收录论文60篇、ISTP收录论文65篇以及中国学术期刊全文数据收录论文33篇。获中国专利10项，申请4项，欧洲专利1项，省科委鉴定科研成果2项，国家教委科技进步二等奖1项。
承担和参加的研究项目有国家自然科学基金项目研究项目3项和国际合作2项；“十五”和“十一五”“863”项目2项；“973”研究项目1项；上海市科研项目4项；参与了澳大利亚、韩国等国际合作科研项目3项。开展了多项国际合作项目。
吴一辉，女，中国科学院长春光学精密机械与物理研究所研究员，博士生导师，现任应用光学国家重点实验室副主任，应光室微光机电系统学科方向学术带头人。中国微米纳米技术学会理事，《光学精密工程》编委。近5年带领学科组承担并完成了973项目2项，863项目4项，自然基金面上1项，中科院预研、基金及二期创新工程项目3项。
赵亚溥,男，1994年7月在北京大学力学系获得博士学位。1998年在中国科学院力学研究所晋升为研究员，2002年获得“国家杰出青年科学基金”，中国科学院“百人计划”称号获得者。享受国务院特殊津贴。2004年入选国家人事部等七部委批准的“首批新世纪百千万人才工程国家级人选”。2000-2005年，担任“非线性力学国家重点实验室”主任。
目前担任国际期刊《Journal of Adhesion Science and Technology》、《International Journal of Nonlinear Science & Numerical Simulation》等8个国际期刊的编委，《International Journal of Nanosystems》主编；《力学进展》等多个国内期刊的常务编委、编委。目前主要从事微纳米力学的研究。在《美国化学会志（Journal of American Chemical Society）》、美国《微电子机械系统（Journal of Microelectromechanical Systems）》 等国际期刊发表论文100余篇。
在超灵敏传感机理研究方面，目前课题组主要应用“密度泛函理论（DFT）”和“分子动力学（MD）”开展基于电子层次的多尺度模拟；在实验和理论建模方面，主要应用微悬臂梁传感器和表面弹性理论开展相关研究。
夏善红，女，研究员，博士生导师，主要从事微机电系统(MEMS)技术、微传感器及其系统研究，目前担任中国科学院电子学研究所传感技术联合国家重点实验室主任。国家973计划“水环境监测无线网络微传感器芯片系统基础研究”首席科学家。作为项目负责人，承担并圆满完成了国家自然科学基金项目、863项目、总装备部军用电子元器件新品研制项目等二十多项研究课题。
梅 涛，男，江西省南城县人，1982年获浙江大学精密机械专业学士学位，2001年获中国科学技术大学力学博士学位。现任中国科学院合肥物质科学研究院副院长、中国科学院合肥智能机械研究所所长、研究员、博士生导师。主要学术团体任职：中国自动化学会常务理事、中国微纳米技术学会常务理事、中国仪器仪表学会传感器分会副理事长、中国自动化学会机器人专业委员会副主任等。
研究领域为传感技术、微纳机电系统、机器人技术、智能车辆技术。负责完成和承担了多项国家973、863、科技攻关和国家自然科学基金课题，包括“多功能类皮肤型传感器”、“基于微机械加工的微型三维力传感器”、“仿生微纳米粘附阵列的SOC控制机理与集成方法”、“仿生微纳敏感器件与智能系统”、“厚膜电容式油罐液位变送器工程化技术研究与产业化”、“微型三维方向传感器”、“空间机器人多传感器手爪”、“舱外移动机器人手眼系统”、 “汽车智能化技术开发与验证系统”等课题。已发表论文156篇，获发明专利14项。
崔铮，男，1988年东南大学电子工程博士毕业，1989年应英国国家科学与工程研究理事会邀请并全额资助，到英国剑桥大学微电子中心做访问研究员，1993年加入英国卢瑟福国家实验室微结构中心，自1999年起在英国卢瑟福国家实验室任首席科学家与微系统技术中心负责人。2009年9月入选中组部第2批“千人计划”（创新类），10月全职回国，加入中科院苏州纳米研究所，创建了中国首个印刷电子研究中心。中心建立6年来已开发成功多种可印刷电子材料与多项印刷电子制造技术，这些材料与技术已在印刷薄膜晶体管、柔性透明导电膜、柔性有机发光与光伏、柔性可穿戴电子与传感器等方面得到应用，部分技术已从实验室走向产业化。崔铮研究员目前任中科院苏州纳米所印刷电子研究部主任，中科院苏州纳米所学术委员会主任。先后出版微纳米加工技术与印刷电子技术方面的中英文专著6部，发表学术论文230余篇，2004年入选英国工程技术学会（IET)会士（Fellow)。