丁衡高（1931.2.3－）。惯性技术和精密仪器专家。江苏省南京市人。1952年毕业于南京大学，1961年毕业于原苏联列宁格勒精密机械光学学院获副博士学位。中国人民解放军总装备部研究员。兼任中国惯性技术学会理事长。中国微米纳米技术学会名誉理事长。长期从事制导武器的陀螺仪、加速度计、惯性平台系统等的研制工作。突破气浮轴承及惯性器件的关键技术，成功地应用于几种战略导弹、运载工具及多种测试设备上，获全国科学大会奖及国防科技重大成果奖一等奖。负责潜地固体战略导弹的液浮惯导系统的研制与生产，获国家科技进步奖特等奖。近年来从事科技发展战略研究及微米/纳米技术、微机电系统的研究工作。
1994年当选为中国工程院院士。
王立鼎，精密机械和微纳机械专家。辽宁辽阳人。1960年毕业于吉林工业大学机械系。中国科学院长春光学精密机械研究所研究员，大连理工大学教授。长期从事超精密齿轮工艺与测试研究，建立了相关精度理论与“正弦消减法”等误差补偿方法。研制出最高精度等级的精密齿轮和渐开线样板，用于工程和计量基准。80年代开展亚微米级传动链精度及高平稳性工作台等研究，用于光盘母板刻录设备。1992年组建中国第一个微机械（MEMS）研究室，1999年组建MEMS研究中心，开展单元与系统设计、制作、测试及运动学、动力学研究。
1995年当选为中国科学院院士。
叶声华（1934.6.11—） 测试计量技术及仪器专家。1934年6月11日出生于湖北省沙市。1956年华中工学院本科毕业，1962年天津大学研究生毕业。精密测试技术及仪器国家重点实验室首任主任。现任天津大学精密仪器系教授、博导、测试计量技术及仪器国家重点学科学术带头人， 一直工作在激光及光电测量技术科研第一线，取得了多项重大成果。“准直技术及应用”项目，1998年获国家科技进步三等奖。“视觉检测技术及应用”项目，1999年获国家科技进步二等奖。“先进制造中空间几何尺寸测量的现场校准方法和装备”项目，2004年获国家技术发明二等奖。还获省部级一、二等科技奖8项。著有《激光在精密计量中的应用》、《激光测量技术》等著作，发表了168篇重要学术论文。在学科建设方面，特别注意培养具有创新能力的工程技术人才，已培养80余名博士、硕士，获国家级教学成果二等奖。1999年获全国“五一”劳动奖章，2000年获全国先进工作者光荣称号。
2003年当选为中国工程院院士。
孙优贤 (1940.12.23—)工业自动化专家。浙江省诸暨市人。1964年毕业于浙江大学。浙江大学教授，浙江大学现代控制工程研究所所长，浙江大学工业自动化国家工程研究中心主任。国际自控联制浆造纸委员会副主席，中国自动化学会副理事长，中国仪器仪表协会副理事长。在现代控制工程领域取得重大研究成果。针对复杂工业系统的高度不确定性、高度非线性、高度关联性、特大纯滞后和信息不完全性等特点，创造性地提出了一整套系统建模技术、先进控制技术、在线优化技术、故障诊断技术、容错控制技术、系统集成技术和综合自动化技术，并在大型工业装置中得到成功应用，初步建立了现代控制工程的方法论体系。领导建立了我国第一个国家工程研究中心，创造性地解决了制浆、造纸、生物化工等大型生产线计算机控制系统软件总体设计中的重大关键技术，成功地研制了Supcon 集散控制系统、现场总线控制系统、Suny TDCS9200工业控制计算机系统，以及综合自动化系统的硬件平台和软件平台，并实现了产业化，在制浆造纸、生物化工自动化工程领域，针对大型企业的各个生产过程，建立了24种动态数学模型，开发了25种高级控制算法，18种计算机控制系统，研制了6种造纸专用仪表和12个软测量软件，并在20多个省市推广应用，取得了重大的经济效益。获得国家科技进步二、三等各1项，国家教学成果奖2项，省部级科技进步一、二等奖15项。
1995年当选为中国工程院院士。
陈洪渊（1937- ），分析化学家.,中国科学院院士。 1961年毕业于南京大学化学系,南京大学教授。长期从事仪器分析的教学和科研.近年的科研方向主要为生物电化学、超微电极及其阵列和器件、光谱和色谱化学、电化学-生物传感器等方面.曾获全国科学大会奖、国家自然科学三等奖、国家教委科技进步三等奖和江苏省科技进步三等奖.近十年来,连续主持七.五”和“八.五”国家自然科学基金重大项目子项、自然科学基金一般项目、国际双边科研合作项目、国家教委博士点项目、科学院长春应化所开放实验室项目和其他科研项目近20项,完成和执行情况优良。
俞汝勤
分析化学家
1935年11月21日生于上海，籍贯湖南长沙。1959年毕业于苏联列宁格勒大学化学系。1991年当选为中国科学院学部委员(院士)。
湖南大学教授，曾任该校校长。主要研究方向为化学计量学及化学生物传感器。研制成功多种新型电化学及光化学传感器，并实现产业化生产。合成多种新的分析及增敏试剂与离子载体，建立铌等稀有金属分析方法。创立多种新型稳健化学计量学多元校正及化学模式识别分类方法，倡导作为化学量测基础理论与方法学的独特的化学计量学教学体系。专著有《化学计量学导论》、《现代分析化学的信息理论基础》、《离子选择性电极分析法》等。
曾获全国科学大会奖、国家自然科学奖二等奖等。
欧进萍(1959.3.8 -)结构监测、控制与防灾减灾工程专家，出生于湖南省宁远县。1987年毕业于原哈尔滨建筑大学，获博士学位。现任哈尔滨工业大学副校长、教授。
在结构动力可靠性与地震损伤方面，建立了结构模糊随机振动基本理论，发展了结构抗风和抗震的动力可靠性分析方法，提出了钢筋混凝土结构的地震损伤分析和设计方法。在结构振动控制方面，研制出多种结构耗能减振装置和智能控制系统，建立了结构耗能减振与智能控制的分析和设计方法。在重大工程结构健康监测方面，研制出多种结构局部性态长期监测智能传感器，建立了结构健康监测的试验与示范系统。在海洋平台结构安全保障技术方面，建立了海洋平台结构安全评定与维修决策理论和大型应用软件系统，发展了平台结构冰振控制技术。发表学术论文160篇、出版著作4部；获得国家科技进步二等奖一项，省部级科技进步一等奖3项、二等奖3项等多种奖励；获国家发明专利6项。
2003年当选中国工程院院士。
尤政，男 ，生于江苏扬州。1985年、1987年、1990年于华中科技大学分别获学士、硕士和博士学位。1990年至1992年，清华大学博士后。1992年留清华大学精密仪器与机械学系任教，副教授，1994年晋升教授，现为特聘教授（长江学者）、博士生导师，清华大学机械工程学院院长，清华大学精密仪器与机械学系主任 ，清华大学航天东方红卫星技术公司微小卫星技术联合实验室主任，清华大学中国空空导弹研究院CAMA测控技术联合实验室主任 ，清华大学校务、学术、学位委员会委员 ，清华大学微米/纳米技术研究中心主任 ，精密测试技术及仪器国家重点实验室（清华）主任，国家纳米技术与工程研究院副院长，英国萨里大学（2001-2008）客座教授，国务院学位委员会光学、仪器学科评议组成员 ，国家863对地观测与导航技术领域专家组成员，中国微米纳米技术学会副理事长兼秘书长，中国仪器仪表学会副理事长，中国机械工程学会微纳加工技术分会副主任 ，《纳米技术与精密工程》、《传感技术学报》编委会副主任，《微纳电子技术》，《光学精密工程》编委， 华中科技大学、中国地质大学、北京邮电大学、重庆大学和吉林大学等兼职教授 近年来已完成和承担科研项目共40余项，其中国家及部委项目19项，863项目14项、国家科学基金项目7项等。科学研究曾获国家科技进步二等奖，中国仪器仪表学会科学技术一等奖，国家教育部科技进步一、二等奖，北京市科科学技术一、二等奖，国防科学技术二等奖等科技奖励11项。已获得国家发明专利12项。撰写并发表科学论文322篇，研究报告32份，其中114篇论文被SCI或EI检索收录。曾获国家授予的“做出突出贡献的中国博士学位获得者”、“全国优秀博士后”称号，并获国务院政府津贴。主要研究方向为微米/纳米技术、微/纳卫星技术等。
蒋庄德，男，辽宁庄河人，西安交通大学副校长,机械工程学院教授，博导，精密工程研究所所长；主持完成了16项国家重大项目并获得25项国家发明专利；获国家技术发明二等奖1项。主要研究方向：MEMS传感器、生物医疗传感器、微电机、微系统、精密测量、光电检测与控制系统。
刘明，女，现任中国科学院微电子研究所党委委员、所长助理、微细加工与纳米技术研究室主任，研究员，博士生导师，中国科学院研究生院兼职教授。主持参与了多项国家973、863项目。在国际上首次采用软X射线曝光技术实现了256位分子存储器；在32nm技术节点以下的非挥发性存储器替代方案上，提出了利用金属掺杂的技术手段来提高阻变存储器（RRAM）性能和成品率的方法，成为国际上最早提出此概念的两个小组之一，在渐进型的非挥发性存储器替代方案上，着眼于纳米晶浮栅存储结构（Nano-Floating Gate），近年来的研究成果荣获国家和省部级奖励共6项，2005年和2007年两次获得国家发明二等奖。2007年度国家杰出青年科学基金获得者。还担任中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务理事和2006-2007年度执行董事长、中国科学院半导体研究所半导体材料重点实验室学术委员会委员、中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室学术委员会委员、中国科学院物理研究所微加工实验室学术委员会副主任、江苏大学兼职教授、安徽大学兼职教授、《纳米科学技术大系》以及《微纳技术著作丛书》编委会编委等多项学术职务。